近日,由青岛杰生电气有限公司承担的国家"863"半导体照明工程重点项目"氮化镓-MOCVD深紫外LED 材料生长设备"制造取得重大突破,研制成功我国首台具有自主知识产权的、能够同时生长6片外延片的MOCVD设备。
据悉,该设备集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多学科为一体,是一种自动 化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备
(王莲)